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ARTICLES日本CKD半導體通用型直驅馬達ABSODEX
日本CKD半導體通用型直驅馬達ABSODEX
一、核心技術架構與產品體系
ABSODEX 作為 CKD 專為半導體制造研發的直驅馬達，采用無齒輪直驅技術，消除傳統傳動鏈的間隙與磨損問題，實現納米級定位精度與免維護運行。其產品矩陣覆蓋四大系列：
AX1R 高精度型：分度精度達 ±15 秒，軸跳動≤0.01mm，適用于晶圓檢測、芯片鍵合等精密場景。
AX2R 高速型：最高轉速 300rpm，響應時間 < 5ms，支持高速旋轉工作臺與電子元件高速搬運。
AX4R 大扭矩型：最大扭矩 1000N?m，可驅動大慣性負載，適用于晶圓傳輸機械臂與封裝設備，提供電磁制動選項。
AX7000X 超高精度型：分度精度 ±2 秒，分辨率 419 萬脈沖 / 轉，等速旋轉波動≤0.06°，專為納米級對位置換設計。
所有型號均標配無電池絕對編碼器，支持斷電后位置記憶，無需原點復位，滿足半導體產線連續運行需求。
二、半導體場景適配特性
超潔凈環境設計
全密封鋁合金殼體，內部填充低發塵潤滑脂，運行時發塵量 < 10 particles/ft3（0.5μm 以上顆粒），符合 ISO Class 5 潔凈室標準。
可選配 ESD 防靜電涂層，表面電阻控制在 10?~10?Ω，有效避免靜電對晶圓的損傷。
防護等級達 IP65，部分型號符合 ATEX 防爆認證（Ex d II B T4 Gb），適用于高風險工藝環境。
高動態響應與精度
AX1R 系列重復定位精度 ±5 秒，配合高精度分割算法，可實現晶圓級封裝中 ±1μm 的貼裝精度。
AX2R 系列支持 S 型加減速曲線，在 300mm 晶圓傳輸中實現 0.1 秒內的啟停控制，減少慣性沖擊。
AX7000X 系列采用高剛性軸承，軸剛度提升 30%，可承受軸向載荷 500N，適用于精密壓合工藝。
智能監控與預防性維護
內置扭矩負載率、溫度、振動傳感器，通過 AX Tools 軟件實時監測運行狀態，提前預警潛在故障（如軸承磨損、繞組過熱）。
支持遠程參數調整與程序更新，可接入 MES 系統實現設備全生命周期管理。
三、驅動與控制解決方案
多協議兼容驅動系統
標配 TS/TH 型驅動器，支持 EtherCAT、Profinet、CC-Link IE TSN 等工業以太網協議，通信周期低至 100μs。
新增網絡運行模式（直接輸入模式），可通過上位控制器直接發送位置指令，減少 PLC 處理延遲。
支持多軸同步控制（如 4 軸聯動），可定制運動軌跡算法以匹配特定工藝需求。
智能調試工具鏈
AX Tools 軟件集成 AI 自動調諧功能，可根據負載特性自動優化 PID 參數，將調試時間縮短 60% 以上。
提供可視化編程界面，支持凸輪曲線生成與軌跡模擬，可快速實現復雜運動路徑（如螺旋線、橢圓插補）。
四、技術參數與選型指南
高精度型（AX1R-022）
最大扭矩：22N?m
重復定位精度：±5 秒
最高轉速：240rpm
允許負載慣性力矩：0.6kg?m2
高速型（AX2R-018）
最大扭矩：18N?m
重復定位精度：±10 秒
最高轉速：300rpm
允許負載慣性力矩：0.5kg?m2
大扭矩型（AX4R-10W）
最大扭矩：1000N?m
重復定位精度：±20 秒
最高轉速：120rpm
允許負載慣性力矩：100kg?m2
超高精度型（AX7000X-050）
最大扭矩：50N?m
分度精度：±2 秒
分辨率：419 萬脈沖 / 轉
等速旋轉波動：±0.06°
五、安裝與維護建議
精密安裝規范
安裝基面平面度需≤0.02mm/m，建議使用激光干涉儀校準。
采用柔性聯軸器（如梅花聯軸器），避免剛性沖擊損壞編碼器。
預防性維護策略
每運行 200 小時檢查編碼器線纜接口，確保屏蔽接地電阻 < 1Ω。
通過 AX Tools 軟件監控電機繞組溫度，閾值設置為 80℃（報警）與 90℃（停機）。
每 6 個月清潔電機散熱孔，避免粉塵堆積影響散熱。
六、配套生態與技術支持
全棧開發工具
AX Tools 軟件支持梯形圖編程、運動軌跡仿真及 FFT 頻譜分析，可診斷機械共振并自動生成濾波器參數。
提供 Python API 接口，方便與客戶自研控制系統集成。
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